大型臭氧发生器以机组形式存在。
1、空气源机组主要由无油压缩空气及气源干燥净化系统、尾气发生系统（包括臭氧放电室、驱动电源系统、控制系统）、臭氧化应用系统、尾气毁灭系统组成。
2、液氧气源机组要有液氧储罐、汽化器、原料气控制系统、臭氧发生系统、应用系统、尾气处理系统组成。
3、也有使用吸附式制氧或富氧作为原料气组成的机组。它由无油空压机、冷干机、制氧系统、臭氧发生系统、臭氧应用系统组成。
应用范围：
1、化工氧化：臭氧作为氧化剂、催化剂和精制剂应用于化工、石油、造纸、纺织、制药和香精香料工业。
2、纸浆漂白：臭氧在纸浆和造纸工业中，用于化学浆液漂白或机械浆液的机械特性的改善，减少纸浆漂白过程中氯对环境的污染。
3、水处理：主要应用于大型自来水厂、化工污水、中水回用、印染污水、水务工程、食品行业废水、制浆造纸废水、冷却水处理。臭氧活性炭，臭氧生物活性碳及UV/O3##氧化处理。臭氧在水中对细菌、病毒等微生物杀灭率高速度快，对有机化合物等污染物质去除彻底不产生二次污染。并能降低生化需氧量和化学需氧量，去除亚硝酸盐、悬浮固体及脱色。
4、大空间空气灭菌：用于食品制药等行业，大型加工车间空气灭菌。